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氬氣(Ar)

??在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體;也可作為色譜載氣;還用于鋼鐵、鋁、鈦和鋯的冶煉中。Ar用于等離子沉積和蝕刻工藝的工廠中,還可用于深UV光刻激光器中半導體芯片的最小特征的圖案上,最脆弱的芯片結構中的碎屑。還可用于照明技術和填充、日光燈光電管、照明管等,以及金屬熱處理工藝。
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