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氮氣(N2)

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? 超高純氮氣在集成電路、半導體和電真空器件制造以及航空航天中用作保護氣和運載氣。目前半導體制造中使用最多的氣體,它用于吹掃真空泵,排放系統,還可以用來做為一種工藝氣體。

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高純氣
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